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摘要:渦街流量計是根據渦街原理制備的測量氣體和液體流量計量儀器，自上世紀八十年代以來被廣泛使用，其技術也不斷進步。渦街流量計的旋渦發生體(阻流體)、檢測元件(傳感器)、前置放大器、濾波整形電路、D/A轉換電路、輸出接口電路等方面的技術特點和研究進展進行了綜述。
　　渦街流量計是用于氣體、液體等流體介質的測量的常用儀器之一，其應用已經從最初的水蒸氣、水的測量擴展到生物學、醫學、衛生、化學化工等領域。隨著各種相關技術等不斷提高，渦街流量計向著高、精、尖方向發展。
　　渦街流量計應用最多的領域是石油化工企業，由于其傳感部件可以不直接接觸被測介質，可以用于測量各類液體、氣體流量，一般其不銹鋼旋渦發生體和封裝于不銹鋼體的傳感器，能夠耐受高溫高壓，可用于液體、氣體、蒸汽測量。現在也有推出管徑小于�h25mm以下的采用模壓成型工藝的全塑料產品渦街流量傳感器，配置非接觸的超聲波檢測元件，可用于腐蝕性液體和高純凈液體的流量測量。在石油化工、制藥、食品和半導體工業中，渦街流量計有著廣泛的應用，可以準確測量的介質包括甲醇、甲醛、丙酮、甲苯、三氯乙烯、乙烯、丁烷液氨、空分裝置中液氧、液氮流量等，還有半導體工業純水、超凈純水等。
　　根據卡門(Karman)渦街原理研制的渦街流量計主要用于工業管道介質流體如氣體、液體等的流量測量。渦街流量計的特點是量程范圍大、壓力損失小，在體積流量測量時幾乎不受流體密度、溫度、壓力、粘度等因素的影響，精度高，維護量小，可靠性高，工作溫度范圍較寬(－20～250℃)。信號輸出方式有數字脈沖信號輸出，也有模擬標準信號，易于智能化、自動化控制，是大中型企業比較先進、理想的介質流量測量儀器。常見的渦街流量計如圖1所示。

　　渦街流量計分類方法有多種，如按照檢測方式分為熱敏式、電容式、應力式、超聲式、應變式、光電式、振動體式和光纖式等;按傳感器與轉換器組成分為一體型和分離型;按測量原理分為質量流量計和體積流量計等。本文在介紹了渦街流量計工作原理的基礎上，對最近幾年來關于渦街流量計的改造現狀進行了總結述評，以期進一步推動渦街流量計發展。
1渦街流量計的基本原理
　　渦街流量計中卡門渦街形成基本原理如圖2所示。

　　正如圖2所示，處于流體中的三角柱是旋渦發生體，當流體從旋渦發生體兩側流過時，產生有規則的交替旋渦———卡門旋渦，這些規則交替的旋渦在旋渦發生體下游非對稱地排列。旋渦的釋放頻率f與流過旋渦發生體的流體平均速度及旋渦發生體特征寬度有關，可用下式表示:
f=Stv/d
式中:
f———旋渦的釋放頻率，Hz
v———流過旋渦發生體的流體平均速度，m/s
d———旋渦發生體特征寬度，m
St———斯特羅哈數，無量綱，它的數值范圍為0.14～0.27
St———雷諾數Re的函數，當Re在102～105范圍內，St值大約為0.2
因此，在測量過程中，要盡量滿足流體的Re在102～105，則旋渦的頻率f=0.2v/d。
　　由此可知，通過測量旋渦頻率f即可得出流過旋渦發生體的流體平均速度v，再由公式q=vA即可求出流體流量q，其中A為流體流過旋渦發生體的截面積。
2渦街流量計的技術改進研究
　　渦街流量計主要由渦街傳感器和轉換器兩部分組成。其中傳感器包括旋渦發生體(阻流體)、檢測元件等;轉換器包括前置放大器、濾波整形電路、D/A轉換電路、輸出接口電路、端子等。因此，渦街流量計的技術改進研究也主要集中在這幾個方面。以下為近幾年來渦街流量計技術改進的現狀。
2.1傳感器改進
　　渦街流量計的重要組成部分是傳感器，其靈敏度和精度都與傳感器直接相關，因此，傳感器的改進是渦街流量計改進的重點研究課題之一。蔡武昌［1］指出流量檢測儀表的關鍵問題之一是傳感器的設計，其預測流量計技術改進的一個重要方面是傳感器結構設計中應該將溫度、壓力、管徑等參數集合到流量傳感器內。
　　渦街流量計的缺點是抗干擾性能差，震動、強電磁場、高溫環境因素等對渦街流量計的測定有很大影響，因此設計高抗干擾的流量計是渦街流量計研究者的追求。潘嵐等［2］針對這一點設計了懸浮式差動傳感器(如圖3所示)，其設計原理為，懸浮式差動傳感器B位于漩渦發生體的后面，懸浮式差動傳感器每個檢測元件使用4個壓電晶體，平板兩側分別對稱固定了兩個檢測單元，以形成差動結構。兩壓電陶瓷片之間由一金屬質量塊固定成一個剛體，同時金屬質量塊作為壓電陶瓷的輸出電極，輸出檢測信號給電荷放大電路，并聯的兩片壓電晶體使輸出的渦街流量信號增大，使渦街流量計輸出信號的信噪比得到很大提高，實驗結果表明，安裝懸浮式差動傳感器的渦街流量計抗干擾性能顯著改善。

　　當渦街傳感器中漩渦發生體和壓電探頭處于分離狀態時壓電探頭的位置對渦街信號的檢測具有比較大的影響。因此，壓電探頭位置與渦街信號幅值、頻率之間的聯系，不同旋渦發生體，最強渦街信號出現的位置也不同。通過在DN100和DN50的水、氣介質流量標準裝置上研究發現，傳感器中壓電探頭的最佳位置應處于發生體尾部且等于發生體寬度處，此距離與發生體寬度呈線性正比關系，不隨被測介質不同而改變。這項研究對于渦街流量計傳感器的改進具有實用性和推廣性。
　　壓電晶體渦街傳感器中采用的是壓電材料受力后產生的電壓信號作為測試信號，但是，壓電晶體傳感器信號轉換的優劣依賴于電壓或電荷放大器性能的影響。利用與壓電晶體傳感器同樣具有小功率、高內阻且電荷量輸出相似特性的硅光電池作為測試電荷放大器性能的信號發生器，硅光電池性能穩定、耐高溫、耐輻射、轉換效率高和頻率相應好等優點，從而保證了測試電荷放大器頻率響應特性的準確性。采用硅光電池信號發生器測得的電荷放大器下限截止頻率(－3dB點)fL2為10.5Hz，這與理論仿真值(10.61Hz)十分接近，而采用壓電信號發生器時測得的fL2為12Hz，這對壓電式渦街流量計有很好的實用性意義。
　　光纖光柵具有抗電磁干擾、天然電絕緣性、抗腐蝕性和體積小等優異性能，作為流量傳感器元件具有得天獨厚的條件，如檢測精度高、量程比寬、介質適應性強、線性好和易于實現智能控制。李紅民等［5］采用電子濾波技術把光纖光柵作為敏感元件制作了一種光纖光柵渦街流量傳感器。實驗結果表明光纖光柵渦街流量傳感器的量程達到可以達到25L/min，線性誤差僅為0.42%，具有很好的線性度，測量精度達到±0.5%F.S。這種傳感器可以適用于高溫、強輻射、強磁場干擾和腐蝕性環境如化學化工、礦山、核電等領域內各種氣體和液體流量的測量。
　　隨著微電子機械技術研究的不斷發展，促使流量傳感器向高集成度、高精度、微型化、高準確可靠性方向發展，適用于生物、醫藥、衛生等微流體計量的新型微型流量傳感器不斷涌現。基于MEMS技術的流量傳感器如熱式微型、流體振動型、差壓型及仿生型微型流量傳感器等不斷出現［7］。
　　基于溫差測量原理推出一種測量低流速氣體流量的傳感器，該傳感器由一對集成溫度傳感器芯片與片狀鉑電阻熱源構成。在低于0.5cm/s的低流速下，該傳感器仍具有數十至數百毫伏的輸出信號幅度，傳感器輸出電壓與方根流速成近似的線性關系，在低流速條件下該流量傳感器具有靈敏度和穩定性。
　　渦街流量計有抗干擾性能差、量程窄等缺點問題，針對這些問題，從渦街信號的源頭加以改進，推出一種抗干擾性能優異的通用渦街流量傳感器，提高了渦街信號的信噪比和靈敏度，同時加強保護措施，如對初級信號處理電路的信號和輸出信號過程的導線進行屏蔽等，提高了渦街流量計的抗干擾性、并提高了測量量程。測試證實，渦街流量計不僅可以抵抗1.5g以下的機械振動干擾，也實現了大于20∶1的寬量程比性能。

　　為了實現對蒸汽的流量、壓力、溫度和質量流量等多參數準確測量，成功研制出集溫度傳感器、壓力傳感器及渦街流量傳感器于一體的蒸汽渦街流量計(如圖4所示)，其中渦街流量傳感器采用壓電傳感器與旋渦發生體分離結構的壓電式通用渦街流量傳感器(如圖5所示)，溫度傳感器采用精度高、可靠性強、價格便宜的高溫薄膜鉑電阻Pt100或Pt1000傳感器，其耐溫范圍更廣:－200～600℃，采用微型獨立封裝;壓力傳感器采用精度高、耐溫穩定性好、密封可靠的氬弧焊封裝結構的高穩態壓阻式壓力傳感器。對該渦街流量計檢定測試結果為1級。目前，覆蓋從DN15到DN30所有口徑的該渦街流量計已經工業化批量生產。
　　懸臂式渦街流量傳感器具有信號強、響應快、工藝好、制作成本低等優點，但是它的固有頻率普遍較低，對大流量信號測定或在復雜的環境中測量時其測量精度會受到嚴重干擾，為此，通過對渦街流量傳感器進行受力分析，研究了在一定力下壓電片的形變量、懸臂式渦街流量傳感器固有頻率的決定因素和管道振動對傳感器輸出信號的影響，設計了兩種新型的、具有較好的抗管道振動能力的抗振懸臂梁渦街流量傳感器，實驗表明，這兩種新型渦街流量傳感器具有更高靈敏度。
2.2渦街信號的處理和轉換電路等的改進
　　渦街流量計信號的頻率范圍一般為1～2500Hz，易受噪聲的干擾，設計高精度的渦街信號處理系統，對渦街信號處理方式的改進是自動化和儀器儀表等學術界的熱點之一。以TMS320F2812芯片為核心控制器，利用2812DSP的l2位16通道ADC模塊對渦街流量計傳感器信號進行采集，結合FFT周期譜圖法對采集信號進行特征分析，提取到有用信號，適當地抑制確定性噪聲。實驗和仿真驗證了設計系統抗干擾性能強，具有可行性和正確性。以TMS320LF2407ADSP微處理器為核心，通過前端多級放大及濾波，并采用高精度A/D轉換芯片，設計了高精度渦街信號處理系統(系統硬件框架圖如圖6所示)。仿真實驗驗證，該系統具有實時性強、精度高、性價比高等優點，有潛在的工業開發價值。利用窗函數法設計FIR和了IIR數字濾波器對渦街流量計的輸出信號進行濾波處理，濾波后的波形平滑了很多，即將大部分的噪音信號去除，以提高測定流速的準確度。

　　針對渦街流量計易被干擾的問一種基于MUSIC算法的渦街信號處理方法。在模擬MUSIC算法的基本原理的基礎上，對多種噪聲環境下的渦街信號進行仿真驗證。仿真驗證結果表明:MUSIC算法可以有效地濾除典型噪聲，高精度地分辨頻率點，對改善渦街流量計的性能有良好的效果。采用經驗模態分解(EMD)方法對渦街信號中干擾噪聲進行濾除，得到真實的渦街信號。其基本方法是首先將原始信號輸送到二階低通濾波器進行幅值歸一化，然后將歸一化后的信號經EMD算法分解成噪聲分量和真實渦街信號分量，最后，通過施密特閾值翻轉法統計頻率并判別出真實的渦街信號所在的分量，從而提取渦街信號。通過仿真試驗分析，驗證該數字信號處理方法的有效性。以MSP430型單片機為核心對智能渦街流量計轉換電路進行設計與開發，其方法是對渦街傳感器前置放大板送出的脈沖信號進行采集處理，MSP430輸出的數字信號至D/A轉換模塊產生標準4～20mA信號輸出。通過電路轉換解決了以往轉換電路存在的功耗大、性能不穩定等問題。
3結語
　　隨著我國經濟模式的發展轉變和人力資源成本的不斷增加以及新技術的不斷涌現，大型工業企業要求生產設備的自動化、智能化程度越來越高，作為常用流體介質的計量設備———渦街流量計也迎來了技術改進的最佳時機，如光纖光柵傳感技術、超聲傳感技術、光電傳感技術等用于渦街流量計的制備，未來的渦街流量計將更加高端、精密，用于生物、醫藥、衛生健康等行業的精細測量的渦街流量計將會得到更大的發展。

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